SHPORA.net :: PDA | |
Main FAQ гуманитарные науки естественные науки математические науки технические науки 1.5. Металлы Металлы используются в МЭМС как электрические проводники и иногда в ка¬честве структурного материала. Омиче¬ские контакты, контактные соединения и пленочные проводники служат для элек¬трических связей: со слоями на подложке, между слоями, внутрисхемных соединений и соединений внутренних элементов мик¬роэлектронных средств преобразователя с внешними электрическими цепями. Схемы контактов приведены на рис. 2.11. Контакт должен удовлетворять следующим требованиям: - быть невыпрямляющим, т.е. его сопротивление не должно изменяться при изменении направления электрического тока; - иметь линейную вольт-амперную характеристику, т.е. его сопротивление не должно зависеть от величины протекающего тока; - обладать малым сопротивлением как в направлении, перпендикулярном к плоскости р-п-перехода, так и параллельном ей; - отличаться хорошей адгезией с полупроводником и оксидной пленкой; - характеризоваться высокой теплопроводностью; - не инжектировать неосновные носители заряда; - иметь температурные коэффициенты линейного расширения полупроводника и материала вывода, близкие друг к другу; - представлять собой стабильную металлургическую систему с полупровод¬ником и материалом вывода; - не проникать глубоко в полупроводник; - материал контакта должен позволять проводить фотолитографию и быть достаточно пластичным. Материалов, полностью отвечающих указанным требованиям, не существует: каждый из них характеризуется своими достоинствами и недостатками. |