SHPORA.net :: PDA

Login:
регистрация

Main
FAQ

гуманитарные науки
естественные науки
математические науки
технические науки
Search:
Title: | Body:

1.5. Металлы


Металлы используются в МЭМС как электрические проводники и иногда в ка¬честве

структурного материала. Омиче¬ские контакты, контактные соединения и пленочные

проводники служат для элек¬трических связей: со слоями на подложке, между

слоями, внутрисхемных соединений и соединений внутренних элементов

мик¬роэлектронных средств преобразователя с внешними электрическими цепями.

Схемы контактов приведены на рис. 2.11.

Контакт должен удовлетворять следующим требованиям:

- быть невыпрямляющим, т.е. его сопротивление не должно изменяться при

изменении направления электрического тока;

- иметь линейную вольт-амперную характеристику, т.е. его сопротивление не

должно зависеть от величины протекающего тока;

- обладать малым сопротивлением как в направлении, перпендикулярном к

плоскости р-п-перехода, так и параллельном ей;



- отличаться хорошей адгезией с полупроводником и оксидной пленкой;

- характеризоваться высокой теплопроводностью;

- не инжектировать неосновные носители заряда;

- иметь температурные коэффициенты линейного расширения полупроводника и

материала вывода, близкие друг к другу;

- представлять собой стабильную металлургическую систему с

полупровод¬ником и материалом вывода;

- не проникать глубоко в полупроводник;

- материал контакта должен позволять проводить фотолитографию и быть

достаточно пластичным.

Материалов, полностью отвечающих указанным требованиям, не существует: каждый из

них характеризуется своими достоинствами и недостатками.