SHPORA.net :: PDA | |
Main FAQ гуманитарные науки естественные науки математические науки технические науки Алюминий Обычно используется в МЭМС как напыляемая пленка, наносимая поверх обработанной
структуры. Закрывая струк¬туру проводящей пленкой, в устройстве создают эквипотенциальные поверхности, которые являются необходимыми для действия многих электростатических уст¬ройств. Алюминий также обычно исполь¬зуется как электрический проводник в полупроводниковых технологиях. Физические свойства алюминия Плотность, г/см3 2,71 Точка плавления, °С 659 Удельная теплоемкость, Дж/(г •°С) 0,90 Модуль Юнга (объемное значе¬ ние), ГПа 70 Коэффициент Пуассона 0,35 Критический предел прочности, МПа: при сдвиге 70 при растяжении 110 Теплопроводность, Вт/(см • °С) 2,37 Коэффициент теплового расширения, °С Удельное сопротивление, Ом • см Длительное время алюминий был единственным хорошим проводником, который мог быть легко объединен в ин¬тегральных схемах. Так как алюминий формирует связи Аl2O3 с SiO2, он отлича¬ется хорошей адгезией со слоями пасси¬вирования. |