SHPORA.net :: PDA

Login:
регистрация

Main
FAQ

гуманитарные науки
естественные науки
математические науки
технические науки
Search:
Title: | Body:

Алюминий

Обычно используется в МЭМС как напыляемая пленка, наносимая поверх обработанной

структуры. Закрывая струк¬туру проводящей пленкой, в устройстве создают

эквипотенциальные поверхности, которые являются необходимыми для действия многих

электростатических уст¬ройств. Алюминий также обычно исполь¬зуется как

электрический проводник в полупроводниковых технологиях.

Физические свойства алюминия

Плотность, г/см3 2,71

Точка плавления, °С 659

Удельная теплоемкость,

Дж/(г •°С) 0,90

Модуль Юнга (объемное значе¬

ние), ГПа 70

Коэффициент Пуассона 0,35

Критический предел прочности,

МПа:

при сдвиге 70

при растяжении 110

Теплопроводность, Вт/(см • °С) 2,37

Коэффициент теплового расширения,

°С

Удельное сопротивление,

Ом • см

Длительное время алюминий был единственным хорошим проводником, который мог быть

легко объединен в ин¬тегральных схемах. Так как алюминий формирует связи Аl2O3 с

SiO2, он отлича¬ется хорошей адгезией со слоями пасси¬вирования.