SHPORA.net :: PDA

[ Back ]

Обычно источником электронов яв¬ляется подогреваемый катод, который испускает

электроны вследствие термо¬электронной эмиссии. Эти электроны за¬тем ускоряются

электростатическими по¬лями и фокусируются с помощью элек¬тромагнитных полей.

Для того чтобы по¬лучить четкий рисунок, пучок электронов управляется и

отклоняется посредством магнитных и электростатических полей.

Сканирующий электронный луч по¬зволяет создавать рисунки с высоким раз¬решением

(с шириной линии < 0,5 мкм). Кроме того, он обладает такими достоин¬ствами,

как управляемость с помощью ЭВМ, достаточно большая глубина про- никновения

(10 мкм) и возможность фо¬кусировки и контроля его положения с использованием

уже хорошо отработанных систем электронной микроскопии.

При изготовлении микроэлектронных структур сканирующая электроннаялитография

применяется для двух целей: для создания рисунка сканирующим элек¬тронным лучом

непосредственно на фо¬торезисте, нанесенном на кремниевую пластину, и для

изготовления фотошабло¬на, рисунок которого может быть затем перенесен на

подложку.