SHPORA.net :: PDA

[ Back ]

Требуемая конфигурация чувстви¬тельного элемента с глухими и сквозными

отверстиями, щелями и пазами обеспечи¬вается преимущественно локальным

хи¬мическим травлением. Доступ к кремнию травителей осуществляется вскрытием

защитного слоя литографическими про¬цессами.

По характеру взаимодействия с кремнием химическое травление является реакцией

растворения, которое в зависи¬мости от кинетики делится на молекуляр¬ное, ионное

и реактивное.

В зависимости от условий травления различают два механизма травления крем¬ния

при отсутствии внешнего источника тока: электрохимический и химический.

Электрохимический механизм харак¬теризуется протеканием на поверхности кремния

двух реакций: анодного окисле¬ния и катодного восстановления окисли¬теля.

Наиболее широко используются травители на основе системы азотной НNO3 и

фтористо-водородной НF кислот. Кислота НNОз выполняет функцию окис¬лителя

кремния, а кислота НF является комплексообразователем - растворителем оксида.

При химическом механизме травле¬ния на поверхности кремния протекают

окислительно-восстановительные реак¬ции, связанные с чисто химическим

взаи¬модействием молекул травителя с по¬верхностными атомами. Состав травите-

лей, как правило, подбирается опытным путем. Травители - это смеси, состоящие из

окислителя, комплексообразователя (образование растворимых соединений с

оксидами), растворителя, ускорителя или замедлителя реакций окисления и

раство¬рения оксида и специальных добавок, обеспечивающих, например,

избиратель¬ное травление.

Химическое травление подразделяют на изотропное, анизотропное и селективное.



Рис. 2.22. Изотропное травление:

с перемешиванием травителя; б- без его перемешивания; в - структура с

характерными размерами