SHPORA.net :: PDA

[ Back ]

Массочувствительные резонаторы выполняются из тонких пластин или линз кварца

температурнонезависимого АТ-среза. В резонаторах возбуждаются колебания сдвига

по толщине. Присоединяемая масса может нано¬ситься с одной или с двух сторон,

как на электроды, так и на перифе¬рию резонатора. Наращивание массы, т. е.

процесс сорбции вещества, может происходить по-разному и носить как необратимый,

так и обра¬тимый характер. Например, при отработке технологии процессов

напыления в установке заподлицо с поверхностью, на которую про-изводится

напыление, помещается пьезорезонатор-толщиномер, поз-воляющий непрерывно

контролировать процесс по изменению частоты пьезорезонатора в зависимости от

толщины напыленной на него пленки. В гигрометрах и газоанализаторах

пьезорезонаторы покрываются специальными сорбционными покрытиями, удерживающими

исследуе¬мое вещество. Так, измерительный резонатор гигрометра покрывается

тонкой (3•10-7 мкм) пленкой окислов кремния. После измерения резонатор может

быть «высушен», т. е. происходит десорбция веще¬ства.